根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風系統(tǒng)。① DC供氣系統(tǒng)。 (2)回風供應(yīng)系統(tǒng)。 (3)一、二次回風送風系統(tǒng)。 ④新風機組(MAU)和循環(huán)機組(RCU)送風系統(tǒng)。 其次是空調(diào)凈化系統(tǒng)中的空氣分離和送風方式。一種將送風與空調(diào)送風分開的方法，以消除室內(nèi)余熱和濕度，潔凈送風，保證室內(nèi)潔凈度水平。即消除室內(nèi)余熱和濕度的空調(diào)送風量(約占總送風量的10% ~ 30%)在位于空調(diào)機房的空調(diào)機組(AHU)或新風機組(MAU)中進行熱濕處理，保證室內(nèi)溫度和相對濕度，凈化送風量(占總送風量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環(huán)，保證室內(nèi)潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室的節(jié)能 為了降低潔凈室的能耗，應(yīng)從潔凈室的規(guī)劃設(shè)計階段就考慮節(jié)能。降低潔凈室能耗的主要途徑是合理確定潔凈室的面積和適當選擇潔凈度等級。選擇先進的低能耗公共電力系統(tǒng)和設(shè)備；合理確定潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)等。可以采取的節(jié)能措施包括: (1)場地和總平面布置，盡量選擇空氣污染少、產(chǎn)塵少的場地建廠，潔凈室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工藝布局上，盡可能減少潔凈室面積或減少潔凈度要求嚴格的潔凈室面積|不能設(shè)置在潔凈室的工藝和設(shè)備應(yīng)設(shè)置在非潔凈室<適當確定各類房間的潔凈度等級，不隨意提出潔凈度要求，組織好人流、物流并布置好輔助用房，配合相關(guān)專業(yè)選擇潔凈室的形式和空間布局。 (3)合理確定潔凈室的建筑形式，減少冷量損失。 (4)優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理流程。 (5)盡量減少制冷(制熱)負荷，