每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的灰塵粒的數量少于10萬個。 十萬級是指一英尺的空間內允許存在的0.5微米的塵埃粒子的個數在十萬個以內。
無塵車間作業環境規定：
落塵量檢查每三個月委外檢查并附檢查效果至公司處理部存檔。
十萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季一般為20~22℃、夏季一般為24~26℃、波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%。作業員上下班前10分鐘將各自工位環境進行清潔處理(含加班時間)，由主管級人員不定期審核確認。
無塵車間室內空氣參數要求：
溫濕度要求：溫度一般為24 2 ℃ ，相對濕度為55 5%。
新風量大。由于十萬級無塵車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%。補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。
送風量大。為了滿足無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。
