在干凈無塵車間設(shè)計(jì)的應(yīng)用中，除了依據(jù)清潔度請(qǐng)求控制和凈化不同粒徑的塵粒外，菌落控制也是環(huán)境控制點(diǎn)之一，在微電子、光學(xué)、機(jī)械、儀器、生物醫(yī)藥，精密化工、食品飲料，涂布新資料等這些工業(yè)應(yīng)用的干凈無塵車間或?qū)嶒?yàn)室對(duì)菌落也有嚴(yán)厲的請(qǐng)求和規(guī)范。 在我們的日常生活中，菌落特別容易產(chǎn)生，很常見。依據(jù)文獻(xiàn)和實(shí)證測(cè)試研討，干凈無塵車間霉菌的構(gòu)成，普通需求相應(yīng)的濕度條件。干凈無塵車間設(shè)計(jì)能夠控制消費(fèi)環(huán)境，使溫濕度滿足消費(fèi)請(qǐng)求，防止運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)分產(chǎn)生一系統(tǒng)問題。通常，東鑫凈化工程設(shè)計(jì)裝修的GMP干凈無塵車間，普通較大濕度控制在70％以下，濕度設(shè)置的戒備線通常為60％。假如環(huán)境里，每天超越3小時(shí)的外表濕度到達(dá)60％-100％時(shí)，就有霉菌的風(fēng)險(xiǎn)。假如干凈無塵車間的外表濕度到達(dá)80％，每天超越12小時(shí)，持續(xù)3天，那么霉菌就可能到來。 目前，一些工程公司采用手動(dòng)形式，來干凈無塵車間設(shè)計(jì)控制風(fēng)量微風(fēng)壓的調(diào)理溫濕度，但由于控制風(fēng)量微風(fēng)壓的控制閥在技藝艙內(nèi)，天花板也是彩鋼的軟屋頂，根本上功用是裝置和調(diào)試的。調(diào)整好后大局部未調(diào)整，實(shí)踐操作起來也特別費(fèi)事無法調(diào)整。為了使干凈無塵車間干凈室的正常消費(fèi)和工作，

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來肯定，但在滿足工藝請(qǐng)求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對(duì)溫度動(dòng)搖范圍的請(qǐng)求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，進(jìn)步干凈室等級(jí)。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間