2潔凈室空調系統 一般潔凈室(包括工業潔凈室和生物潔凈室)可分為兩類: 一種是空調凈化系統的集中空氣處理和集中送風方式。所有送至潔凈車間的空氣(即消除室內余熱、濕度，維持室內正壓，保證室內潔凈度的所有送風量)均由送風管道進行粗、中效過濾、降溫減濕或加熱加濕等凈化和熱濕處理，然后送至潔凈車間送風口，經過HEPA或UL。所有回風通過集中回風管道拉回空調機房與新風混合后再次進行一系列熱濕處理，如此往復循環。

潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室的節能 為了降低潔凈室的能耗，應從潔凈室的規劃設計階段就考慮節能。降低潔凈室能耗的主要途徑是合理確定潔凈室的面積和適當選擇潔凈度等級。選擇先進的低能耗公共電力系統和設備；合理確定潔凈室的圍護結構等。可以采取的節能措施包括: (1)場地和總平面布置，盡量選擇空氣污染少、產塵少的場地建廠，潔凈室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工藝布局上，盡可能減少潔凈室面積或減少潔凈度要求嚴格的潔凈室面積|不能設置在潔凈室的工藝和設備應設置在非潔凈室<適當確定各類房間的潔凈度等級，不隨意提出潔凈度要求，組織好人流、物流并布置好輔助用房，配合相關專業選擇潔凈室的形式和空間布局。 (3)合理確定潔凈室的建筑形式，減少冷量損失。 (4)優化凈化空調系統的空氣處理流程。 (5)盡量減少制冷(制熱)負荷，