C1s校正后，其他峰和標準峰峰位相差多少算合理？以及分峰的峰位相差在多少范圍內合理？，答：有些峰會偏移的大一些，一般情況，峰位相差0，5eV以內，如果相差過大，需要考慮是否是校正存在問題，XPS之所以無法檢測H、He，是因為：1)H和He的光電離界面小，信號太弱；2)H1s電子很容易轉移，在大多數情況下會轉移到其他原子附近，檢測起來非常困難;3)H和He沒有內層電子，其外層電子用于成鍵，H以原子核形式存在。

實用XPS定量分析方法可以概括為標樣法、元素靈敏度因子法和一級原理模型，目前XPS定量分析多采用元素靈敏度因子法，該方法利用特定元素譜線強度作參考標準，測得其它元素相對譜線強度，求得各元素的相對含量，根據譜峰形狀，結合文獻對O1s進行峰擬合，分別是530eV左右的ZnO晶格O的峰(OL)、531，XPS常用AlKα或者MgKαX射線為激發源，能檢測周期表中除氫、氦以外的所有元素，一般檢測限為0。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續發射而得不到電子補充，使得樣品表面出現電子虧損，這種現象稱為“荷電效應”，荷電效應將使樣品表面出現一穩定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應將引起能量的位移，使得測量的結合能偏離真實值，造成測試結果的偏差，高分辨譜經過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態了，或者通過反應前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結構的變化信息等等。