如果含有標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，就需要用多重分裂的方式來(lái)進(jìn)行擬合，XPS測(cè)出來(lái)的原子比和化學(xué)式中的原子比不一樣是正常的嗎，比如說(shuō)TiO2，很后測(cè)出來(lái)O：Ti不是2：答：這個(gè)是非常正常的，在小白班di一節(jié)課我們強(qiáng)調(diào)了XPS是探測(cè)表面3-10nm的技術(shù)，但是我們都知道，表面和體相是不一樣的，表面是容易被吸附到污染物質(zhì)，且容易造成氧空位，下面以超級(jí)電容器Ni(OH)2摻雜Co(OH)2的電極材料樣品的數(shù)據(jù)為例進(jìn)行NLLFS擬合，具體操作如下。

此外，EDS只能檢測(cè)元素的組成與含量，不能測(cè)定元素的價(jià)態(tài)，且EDS的檢測(cè)限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測(cè)定表面元素和含量，又可以測(cè)定表其價(jià)態(tài)，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測(cè)濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數(shù)據(jù)分析不大準(zhǔn)，答：不少人說(shuō)XPS分析不準(zhǔn)，其實(shí)很多時(shí)候，不是儀器原因，而是我們的知識(shí)儲(chǔ)備影響著我們的判斷，與右邊標(biāo)準(zhǔn)譜圖對(duì)比，很右邊是衛(wèi)星峰，而左圖直接標(biāo)示為Ni(OH)2和NiO。

當(dāng)用XPS測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí)，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢(shì)Vs，對(duì)電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測(cè)量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測(cè)試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過(guò)分峰擬合之后，就可以用來(lái)確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過(guò)反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對(duì)比來(lái)得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。