因此，我們可以根據(jù)光電子的結(jié)合能定性分析物質(zhì)的元素種類，XPS定性分析元素的化學(xué)態(tài)與分子結(jié)構(gòu)，基本原理：原子因所處化學(xué)環(huán)境不同，其內(nèi)殼層電子結(jié)合能會發(fā)生變化，這種變化在譜圖上表現(xiàn)為譜峰的位移（化學(xué)位移），對于對某一固體試樣中兩個元素i和j，如已知它們的靈敏度因子Si和Sj，并測出各自特定譜線強(qiáng)度Ii和Ij，則它們的原子濃度之比為：ni:nj=(Ii/Si)：(Ij/Sj），因此可以求得相對含量。

此外，EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態(tài)，且EDS的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態(tài)，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數(shù)據(jù)分析不大準(zhǔn)，答：不少人說XPS分析不準(zhǔn)，其實(shí)很多時候，不是儀器原因，而是我們的知識儲備影響著我們的判斷，與右邊標(biāo)準(zhǔn)譜圖對比，很右邊是衛(wèi)星峰，而左圖直接標(biāo)示為Ni(OH)2和NiO。

當(dāng)用XPS測量絕緣體或者半導(dǎo)體時，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。