此外，EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態，且EDS的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數據分析不大準，答：不少人說XPS分析不準，其實很多時候，不是儀器原因，而是我們的知識儲備影響著我們的判斷，與右邊標準譜圖對比，很右邊是衛星峰，而左圖直接標示為Ni(OH)2和NiO。

針對上述復雜圖譜，常規擬合方法較難取得好的擬合效果，而采用Avantage軟件中獨有的NLLSF擬合功能可得到較好的擬合結果，下面我們來講解一下如何進行擬合，例如，對于此電容器樣品，要想進行NLLFS擬合，我們需要獲得純Co(OH)2的窄掃參考譜圖，即沒有Ni(OH)2俄歇峰干擾的譜圖；Ni(OH)2在Co元素結合能范圍段（770~820ev）的俄歇參考譜圖，即不含Co(OH)2干擾的譜圖，如下圖2。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續發射而得不到電子補充，使得樣品表面出現電子虧損，這種現象稱為“荷電效應”，荷電效應將使樣品表面出現一穩定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應將引起能量的位移，使得測量的結合能偏離真實值，造成測試結果的偏差，高分辨譜經過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態了，或者通過反應前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結構的變化信息等等。