跟著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷開展,對(duì)清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來(lái)越嚴(yán)厲。由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高,因而半導(dǎo)體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體職業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)厲的水質(zhì)要求。現(xiàn)在,我國(guó)常用的超純水規(guī)范有國(guó)家規(guī)范《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。 在半導(dǎo)體出產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會(huì)使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達(dá)較低的指標(biāo),則必然會(huì)進(jìn)步半導(dǎo)體的性能。
Huncotte體系選用核級(jí)樹脂,可經(jīng)過共同的靶向離子交換樹脂有用控制體系出水的硼離子含量。選用IPC-MS檢測(cè)硼離子含量,并對(duì)硼離子流出物進(jìn)行分析≤ 0.005μG/L遠(yuǎn)低于美標(biāo)E1.3中要求的硼離子含量。 今天,萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備已出廠檢驗(yàn)。萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備處理了空間限制,安裝便利、體積小、操作簡(jiǎn)略。 現(xiàn)在,在水資源緊缺的情況下,加強(qiáng)海水淡化的國(guó)產(chǎn)化技能研制,在水資源再利用方面,推行海水淡化設(shè)備顯得尤為重要,并且現(xiàn)代海水淡化設(shè)備也逐漸步入了現(xiàn)代這個(gè)快速開展的時(shí)代,其有用性和可靠性也越來(lái)越被人們所認(rèn)可。
半導(dǎo)體業(yè)由于技能發(fā)展迅速、市場(chǎng)變化大,其出產(chǎn)能力具有波動(dòng)性。所以,要求與之配套的半導(dǎo)體純水體系要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量,對(duì)超純水設(shè)備供水的靈活性,安全性,及時(shí)性,提出了更高的要求。萊特萊德半導(dǎo)體純水體系投入運(yùn)轉(zhuǎn)后,可以出產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水,為半導(dǎo)體用水供給用水保障。