今后,廢水處理技能水平將不斷進(jìn)步,在出水水質(zhì)、出資成本、運(yùn)轉(zhuǎn)辦理、適用性等方面將有更多優(yōu)勢,在污水再生回用方面具有更多的運(yùn)用空間。 半導(dǎo)體的出產(chǎn)需求經(jīng)過8個(gè)首要工序。超純水首要用于半導(dǎo)體制作中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切開晶圓并用超純水清洗剩余碎片。或許,在離子注入過程之后,清潔剩余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切開。
超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運(yùn)用超純水會有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時(shí),假如在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會導(dǎo)致差錯(cuò)。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進(jìn)步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
超純水既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)簡直徹底去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外,簡直沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是簡直去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm,或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。