跟著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷開展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴(yán)厲。由于超純水在許多指標(biāo)上對半導(dǎo)體的要求很高,因而半導(dǎo)體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體職業(yè)對超純水有極其嚴(yán)厲的水質(zhì)要求。現(xiàn)在,我國常用的超純水規(guī)范有國家規(guī)范《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。 在半導(dǎo)體出產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達(dá)較低的指標(biāo),則必然會進(jìn)步半導(dǎo)體的性能。
Huncotte體系選用核級樹脂,可經(jīng)過共同的靶向離子交換樹脂有用控制體系出水的硼離子含量。選用IPC-MS檢測硼離子含量,并對硼離子流出物進(jìn)行分析≤ 0.005μG/L遠(yuǎn)低于美標(biāo)E1.3中要求的硼離子含量。 今天,萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備已出廠檢驗。萊特萊德集裝箱海水淡化設(shè)備處理了空間限制,安裝便利、體積小、操作簡略。 現(xiàn)在,在水資源緊缺的情況下,加強海水淡化的國產(chǎn)化技能研制,在水資源再利用方面,推行海水淡化設(shè)備顯得尤為重要,并且現(xiàn)代海水淡化設(shè)備也逐漸步入了現(xiàn)代這個快速開展的時代,其有用性和可靠性也越來越被人們所認(rèn)可。
超純水是為了研制超純資料(半導(dǎo)體原件資料、納米精密陶瓷資料等)運用蒸餾、去離子化、反滲透技能或其它適當(dāng)?shù)某R界精密技能出產(chǎn)出來的水,不宜飲用。 這樣的水是一般工藝很難到達(dá)的程度,應(yīng)該運用超純水設(shè)備進(jìn)行制備。專業(yè)的超純水設(shè)備由預(yù)處理(多介質(zhì)過濾+超濾設(shè)備)體系+反滲透體系+EDI電除鹽體系+拋光混床體系組成,保證出水水質(zhì)滿足18.2MΩ·cm電子級水產(chǎn)水指標(biāo)。