超純水既將水中的導電介質簡直徹底去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。這種水中除了水分子外，簡直沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是簡直去除氧和氫以外所有原子的水。電阻率大于18M Ω*cm，或接近18.3M Ω*cm極限值(25℃)。

超純水處理是一般工藝很難到達的程度，萊特萊德選用預處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級處理四大步驟，獨有的靶向離子交換體系針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除，保證出水硼離子可以穩定≤5ppt。

　半導體業由于技能發展迅速、市場變化大，其出產能力具有波動性。所以，要求與之配套的半導體純水體系要有一定的可調節性、留有合理的余量，對超純水設備供水的靈活性，安全性，及時性,提出了更高的要求。萊特萊德半導體純水體系投入運轉后，可以出產出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水，為半導體用水供給用水保障。