今后,廢水處理技能水平將不斷進(jìn)步,在出水水質(zhì)、出資成本、運(yùn)轉(zhuǎn)辦理、適用性等方面將有更多優(yōu)勢(shì),在污水再生回用方面具有更多的運(yùn)用空間。 半導(dǎo)體的出產(chǎn)需求經(jīng)過(guò)8個(gè)首要工序。超純水首要用于半導(dǎo)體制作中某些工序前后的清洗。例如,在蝕刻工藝之后,切開(kāi)晶圓并用超純水清洗剩余碎片。或許,在離子注入過(guò)程之后,清潔剩余離子。此外,超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切開(kāi)。
超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過(guò)程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運(yùn)用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時(shí),假如在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會(huì)導(dǎo)致差錯(cuò)。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進(jìn)步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
超純水設(shè)備成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都離不開(kāi)超純水,只要水質(zhì)純潔了,才能保證每一步的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。超純水設(shè)備為芯片制作保駕護(hù)航。傳統(tǒng)超純水制備工藝一般運(yùn)用離子交換樹(shù)脂,但離子交換樹(shù)脂的運(yùn)用一般需求定期的樹(shù)脂再生,這既耗費(fèi)材料又耗費(fèi)人力。超純水設(shè)備選用超純水設(shè)備選用反滲透工藝,或選用反滲透后離子交換混床、電去離子EDI工藝或拋光混床出產(chǎn)超純水,以保證出水水質(zhì)符合職業(yè)標(biāo)準(zhǔn),滿足芯片職業(yè)用水需求,成果英勇的“芯”。