半導(dǎo)體職業(yè)是一個(gè)高能耗的職業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制作過程中,由于出產(chǎn)設(shè)備的精密性和出產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)超純水體系的運(yùn)用要求更高。 在半導(dǎo)體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需求進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會(huì)進(jìn)入硅片,如帶入過量的雜質(zhì),就會(huì)導(dǎo)致器件功能下降、影響產(chǎn)品功能。因而,制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技能。
超純水處理是一般工藝很難到達(dá)的程度,萊特萊德選用預(yù)處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級(jí)處理四大步驟,獨(dú)有的靶向離子交換體系針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子可以穩(wěn)定≤5ppt。
超純水設(shè)備成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都離不開超純水,只要水質(zhì)純潔了,才能保證每一步的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。超純水設(shè)備為芯片制作保駕護(hù)航。傳統(tǒng)超純水制備工藝一般運(yùn)用離子交換樹脂,但離子交換樹脂的運(yùn)用一般需求定期的樹脂再生,這既耗費(fèi)材料又耗費(fèi)人力。超純水設(shè)備選用超純水設(shè)備選用反滲透工藝,或選用反滲透后離子交換混床、電去離子EDI工藝或拋光混床出產(chǎn)超純水,以保證出水水質(zhì)符合職業(yè)標(biāo)準(zhǔn),滿足芯片職業(yè)用水需求,成果英勇的“芯”。