跟著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷開展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴(yán)厲。由于超純水在許多指標(biāo)上對半導(dǎo)體的要求很高,因而半導(dǎo)體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體職業(yè)對超純水有極其嚴(yán)厲的水質(zhì)要求。現(xiàn)在,我國常用的超純水規(guī)范有國家規(guī)范《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。 在半導(dǎo)體出產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達(dá)較低的指標(biāo),則必然會進(jìn)步半導(dǎo)體的性能。
半導(dǎo)體職業(yè)是一個高能耗的職業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制作過程中,由于出產(chǎn)設(shè)備的精密性和出產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對超純水體系的運(yùn)用要求更高。 在半導(dǎo)體制作工藝中,50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸、80%以上的工序需求進(jìn)行化學(xué)處理,而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)水中的雜質(zhì)會進(jìn)入硅片,如帶入過量的雜質(zhì),就會導(dǎo)致器件功能下降、影響產(chǎn)品功能。因而,制備高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技能。
超純水處理是一般工藝很難到達(dá)的程度,萊特萊德選用預(yù)處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級處理四大步驟,獨(dú)有的靶向離子交換體系針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子可以穩(wěn)定≤5ppt。