超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運(yùn)用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時(shí),假如在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒,則會(huì)導(dǎo)致差錯(cuò)。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進(jìn)步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
超純水處理是一般工藝很難到達(dá)的程度,萊特萊德選用預(yù)處理、反滲透技能、靶向離子交換體系以及后級(jí)處理四大步驟,獨(dú)有的靶向離子交換體系針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除,保證出水硼離子可以穩(wěn)定≤5ppt。
半導(dǎo)體業(yè)由于技能發(fā)展迅速、市場(chǎng)變化大,其出產(chǎn)能力具有波動(dòng)性。所以,要求與之配套的半導(dǎo)體純水體系要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量,對(duì)超純水設(shè)備供水的靈活性,安全性,及時(shí)性,提出了更高的要求。萊特萊德半導(dǎo)體純水體系投入運(yùn)轉(zhuǎn)后,可以出產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水,為半導(dǎo)體用水供給用水保障。