干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來肯定，但在滿足工藝請(qǐng)求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對(duì)溫度動(dòng)搖范圍的請(qǐng)求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

干凈室中的氣流速度規(guī)則 這里要討論的氣流速度是指干凈室內(nèi)的氣流速度，在其他干凈空間中的氣流速度在討論詳細(xì)設(shè)備時(shí)再闡明。 關(guān)于亂流干凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的水平，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下請(qǐng)求； (1)送風(fēng)口出口吻流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，請(qǐng)求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。 (2)吹過程度面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起外表微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度普通不宜大干0.2m/s。 關(guān)于平行流干凈室《習(xí)氣上稱層流干凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用掃除行染，所以截面上的速度就是十分重要的指標(biāo)。過去都參考美國(guó)20gB規(guī)范，采用0.45m/s．但人們也都理解到這樣大速度所需求的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風(fēng)速的可行性。 在我國(guó)，《空氣干凈技術(shù)措施》和(干凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)）都是這樣規(guī)則的 垂直平行流（層流）干凈室≥0.25m/s 程度平行流（層流）干凈室≥0.35 m/s

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，進(jìn)步干凈室等級(jí)。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間