河南實驗室凈化工程建立過程在東鑫凈化的統籌布置下停止的,統一各方意見,在設計、施工過程中處理諧和由于各自證據,對建立過程形成隱患、返工等弊端,保證凈化實驗室的緊密,使其長期低能耗、低本錢運轉。模塊化:在為實驗室用戶設計實驗室凈化工程處理計劃時,采用產業化、規范化的運營理念,歸結整理多年的凈化工程項目,是將復雜的實驗室凈化工程項目模塊化,以便依據用戶的不同狀況、特性和需求做出愈加優化的組合。在提供的計劃中,采用了合適當地狀況的方式,將建筑物裝修、配電、空調、消防全部規范化的計劃,制定了有針對性的計劃設計。 完好性:河南實驗室凈化工程能夠為客戶提供一站式的“傳送鑰匙”工程,降低采購本錢,減少客戶的大量努力、物力和人力投入,客戶不用思索過多的技術細節。經過整個實驗室凈化工程處理計劃,為客戶提供統一接口,整合一切設備供給商、工程承包商、效勞供給商,經過系統的設備配置,確保整個實驗室的容量和設備之間的諧和,滿足當前和將來的開展需求。此外,還能夠為用戶提供合同效勞,保證用戶取得長期或終身的效勞維護,從而保證家具投資的宏大利益。
干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據工藝請求來肯定,但在滿足工藝請求的條件下,應思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請求的進步,呈現了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴的趨向。詳細工藝對溫度的請求以后還要羅列,但作為總的準繩看,由于加工精度越來越精密,所以對溫度動搖范圍的請求越來越小。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時請求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超越25度,濕渡過高產生的問題更多。相對濕度超越55%時,冷卻水管壁上會結露,假如發作在精細安裝或電路中,就會惹起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將經過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學吸附在外表難以肅清。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表,同時大量半導體器件容易發作擊穿。關于硅片消費最佳濕度范圍為35—45%。
實驗室凈化分類 亂流式 空氣由空調箱經風管與干凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入干凈室,并由干凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于干凈室等級1,000-100,000級。 優點:結構簡單、系統建形成本低,干凈室的擴大比擬容易,在某些特殊用處場所,可并用無塵工作臺,進步干凈室等級。 缺陷:亂流形成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統中止運轉再激活,欲達需求之干凈度,常常須耗時相當長一段時間