真空度指標(biāo)是各國生產(chǎn)商努力追求的主要指標(biāo),它反應(yīng)了相應(yīng)的機(jī)械加工、密封技術(shù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的整體實(shí)力,也是生產(chǎn)商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標(biāo),就必須有更高的密封條件,因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優(yōu)異的零部件,于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于真空度指標(biāo)的增幅。當(dāng)然,抽氣速率的提高也會引起價格的攀升,但其增幅不大。因此,選擇hilintec微型真空泵時需要認(rèn)真考慮真空度指標(biāo)、抽氣速率指標(biāo)、自己的使用情況等,這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。 高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件,因此它對工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。
⑴分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式: ①牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。 ②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。 ③復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合式分子真空泵。 ⑵噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態(tài)下工作。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。