旋轉式真空泵: 此類產品是利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出的。它大致有如下幾種分類:油封式真空泵:它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙,減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。 此類產品的極限真空一般為0.05 pa~0.5pa左右,正常工作壓力為0.5pa~103pa甚至更高。主要用于抽除空氣或含有少量可凝性氣體,真空度要求較高的工藝流程。如真空金屬冶煉、食品真空冷凍干燥、真空鍍膜、電力電容器行業的真空干燥等工藝。 液環真空泵:將帶有多葉片的轉子偏心安裝在泵殼內。當它旋轉時,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液通常為水、油或其它低飽和液體。
⑴分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式: ①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。 ②渦輪分子泵:泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。 ③復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合式分子真空泵。 ⑵噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態下工作。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。