由于普通羅茨真空不能單獨使用必須配備前級泵，可采用往復式真空泵、油封式真空泵、液環式真空泵等作為前級泵。因此羅茨真空泵可以使用在真空度為0.01 pa～5000pa左右的任何真空處理工藝上。 一般對于可單獨使用的真空泵，在單獨使用時該真空泵就是主泵；對于羅茨真空泵機組而言，可分為主泵和前級泵，所謂主泵就是與系統直接相連的真空泵，通常羅茨真空泵為主泵，它在對系統抽真空時起主要作用。前級泵是指其進氣口與主泵直接相連，排氣口與大氣直接相連的泵為前級泵，前級泵的作用是必須及時將主泵排出的氣體抽掉并排入大氣。

⑴分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式： ①牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。 ②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。 ③復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合式分子真空泵。 ⑵噴射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯流和過渡流狀態下工作。

這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2）吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3）吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。