由于普通羅茨真空不能單獨使用必須配備前級泵,可采用往復式真空泵、油封式真空泵、液環式真空泵等作為前級泵。因此羅茨真空泵可以使用在真空度為0.01 pa~5000pa左右的任何真空處理工藝上。 一般對于可單獨使用的真空泵,在單獨使用時該真空泵就是主泵;對于羅茨真空泵機組而言,可分為主泵和前級泵,所謂主泵就是與系統直接相連的真空泵,通常羅茨真空泵為主泵,它在對系統抽真空時起主要作用。前級泵是指其進氣口與主泵直接相連,排氣口與大氣直接相連的泵為前級泵,前級泵的作用是必須及時將主泵排出的氣體抽掉并排入大氣。
②干式真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變容真空泵。 ③液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。 ④羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。 2)動量傳輸泵 這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。