②干式真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變容真空泵。 ③液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。 ④羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。 2)動量傳輸泵 這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
⑴分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式: ①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。 ②渦輪分子泵:泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。 ③復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合式分子真空泵。 ⑵噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態下工作。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。