旋轉式真空泵: 此類產品是利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出的。它大致有如下幾種分類:油封式真空泵:它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙,減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。 此類產品的極限真空一般為0.05 pa~0.5pa左右,正常工作壓力為0.5pa~103pa甚至更高。主要用于抽除空氣或含有少量可凝性氣體,真空度要求較高的工藝流程。如真空金屬冶煉、食品真空冷凍干燥、真空鍍膜、電力電容器行業的真空干燥等工藝。 液環真空泵:將帶有多葉片的轉子偏心安裝在泵殼內。當它旋轉時,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液通常為水、油或其它低飽和液體。
②干式真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變容真空泵。 ③液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。 ④羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。 2)動量傳輸泵 這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。