旋轉式真空泵： 此類產品是利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出的。它大致有如下幾種分類：油封式真空泵：它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。 此類產品的極限真空一般為0.05 pa～0.5pa左右，正常工作壓力為0.5pa～103pa甚至更高。主要用于抽除空氣或含有少量可凝性氣體，真空度要求較高的工藝流程。如真空金屬冶煉、食品真空冷凍干燥、真空鍍膜、電力電容器行業的真空干燥等工藝。 液環真空泵：將帶有多葉片的轉子偏心安裝在泵殼內。當它旋轉時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液通常為水、油或其它低飽和液體。

⑶擴散泵：以低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為： ①自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。 ②分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。 ⑷擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。 ⑸離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2）吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3）吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。