由于普通羅茨真空不能單獨使用必須配備前級泵，可采用往復式真空泵、油封式真空泵、液環式真空泵等作為前級泵。因此羅茨真空泵可以使用在真空度為0.01 pa～5000pa左右的任何真空處理工藝上。 一般對于可單獨使用的真空泵，在單獨使用時該真空泵就是主泵；對于羅茨真空泵機組而言，可分為主泵和前級泵，所謂主泵就是與系統直接相連的真空泵，通常羅茨真空泵為主泵，它在對系統抽真空時起主要作用。前級泵是指其進氣口與主泵直接相連，排氣口與大氣直接相連的泵為前級泵，前級泵的作用是必須及時將主泵排出的氣體抽掉并排入大氣。

b）滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積。 c）定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變容積。 d）余擺線式真空泵：在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。 e）多室旋片式真空泵：在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。

這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2）吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3）吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。