傳統的蝕刻工藝因為存在技術落后、生產成本高、嚴重的污染問題,guo家在環保政策的要求下強勢淘汰傳統工藝,整個蝕刻行業亟需解決行業升級、技術換代的問題,且迫在眉睫,蝕刻優版創新技術應運而生,微加工過程中有很多加工步驟,現代工藝上,不銹鋼蝕刻板針對高精密、精細化的產品上無法滿足,其蝕刻工藝手段非常適用對精密化產品,比如汽車機械部件、墊片和間隔墊圈、高性能密封墊片、各種過濾網片,電動汽車電池片,汽車喇叭網上均采用蝕刻工藝。
缺點包括許多化學廢物,其中許多是高酸性和多步過程,在蝕刻之前,需要掩蓋襯底的區域以獲得器件所需的詳細功能,在稱為光刻的過程中,將光敏光刻膠旋涂到晶圓上,然后將晶片預烘烤以除去光刻膠中多余的溶劑,然后將具有所需特征的切口的掩模放置在光致抗蝕劑的頂部,并使用紫外光固化任何曝光的光致抗蝕劑,當將腐蝕劑(一種腐蝕性化學品)施加到被掩膜的晶圓上時,在所有方向上未被掩膜覆蓋的區域中,蝕刻會以相同的速率發生,從而產生倒圓的邊緣。
現在可以對涂覆的晶片進行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機械的工藝都無法加工的高精密產品。