傳統的蝕刻工藝因為存在技術落后、生產成本高、嚴重的污染問題,guo家在環保政策的要求下強勢淘汰傳統工藝,整個蝕刻行業亟需解決行業升級、技術換代的問題,且迫在眉睫,蝕刻優版創新技術應運而生,微加工過程中有很多加工步驟,現代工藝上,不銹鋼蝕刻板針對高精密、精細化的產品上無法滿足,其蝕刻工藝手段非常適用對精密化產品,比如汽車機械部件、墊片和間隔墊圈、高性能密封墊片、各種過濾網片,電動汽車電池片,汽車喇叭網上均采用蝕刻工藝。
當反應發生時,材料以類似于向下蝕刻的速度被橫向移除,濕化學蝕刻通常是各向同性的,即使存在掩模,因為液體蝕刻劑可以滲透到掩模下面,如果方向性對于高分辨率圖案轉移非常重要,通常禁止濕法化學蝕刻工藝,濕蝕刻是光刻之后的微細加工過程,該過程中使用化學物質去除晶圓層,濕法刻蝕是半導體制造,微機械和微流控設備中的重要過程,需要微尺度的特征來優化性能或創建層流態,這在宏觀上幾乎是不可能獲得的,由于能夠通過改變蝕刻劑濃度和蝕刻時間來輕松控制z軸蝕刻,因此常用于分層應用。
缺點包括許多化學廢物,其中許多是高酸性和多步過程,在蝕刻之前,需要掩蓋襯底的區域以獲得器件所需的詳細功能,在稱為光刻的過程中,將光敏光刻膠旋涂到晶圓上,然后將晶片預烘烤以除去光刻膠中多余的溶劑,然后將具有所需特征的切口的掩模放置在光致抗蝕劑的頂部,并使用紫外光固化任何曝光的光致抗蝕劑,當將腐蝕劑(一種腐蝕性化學品)施加到被掩膜的晶圓上時,在所有方向上未被掩膜覆蓋的區域中,蝕刻會以相同的速率發生,從而產生倒圓的邊緣。