蝕刻是從材料表面去除材料的過程,蝕刻的兩種主要類型是濕蝕刻和干蝕刻(例如,等離子體蝕刻),涉及使用液體化學藥品或蝕刻劑去除基板材料的蝕刻工藝稱為濕蝕刻,通常所指金屬蝕刻加工也被稱為化學蝕刻加工,通過制版,經過曝光(紫外線圖像轉移)到金屬上面,將圖案顯影后,將要蝕刻的保護層去掉,在蝕刻過程中接觸化學藥水,讓兩面的圖案通過化學腐蝕研磨的作用,形成凹凸和鏤空成形的效果,金屬蝕刻加工具有很強的針對性的工藝。
蝕刻是微制造過程中的一個重要步驟,術語蝕刻指的是在制造時從晶片表面去除層,這是一個非常重要的過程,每個晶片都要經歷許多蝕刻過程,用于保護晶片免受蝕刻劑影響的材料被稱為掩模材料,其用于許多蝕刻步驟中以抵抗蝕刻,該掩模材料可以是光致抗蝕劑,并且使用光刻法將其圖案化,蝕刻加工是現在常用的加工方式,主要應用在金屬蝕刻、蝕刻標牌、蝕刻五金以及PCB電路板上,蝕刻加工相比于傳統的沖壓、激光雕刻等方式,更加靈活,也更方便。
現在可以對涂覆的晶片進行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機械的工藝都無法加工的高精密產品。