另一方面,濕蝕刻僅是化學過程,干蝕刻等向性蝕刻與異向性蝕刻同時存在,濕蝕刻:利用化學藥液將需要蝕刻掉的物質蝕刻掉,濕蝕刻為等向性蝕刻,濕蝕刻機臺便宜,蝕刻速度快,但難以jing確控制線寬和獲得極其精細的圖形并且需要大量用水,污染大;干蝕刻機臺價格昂貴,蝕刻速度速度慢,但可以jing確控制線寬能獲得極其精細的圖形,而且不需要用水,污染小,蝕刻工藝是一項工業(yè)應用,涉及到我們生活中的全方面應用,在工業(yè)制造中是不可缺少的中間工藝,其應用領域緊密的以我們生活中的“吃、穿、住、行”為主要應用,無論是行業(yè)應用,或者是生活生產,蝕刻工藝是不可取代,且不可缺失的。
蝕刻是微制造過程中的一個重要步驟,術語蝕刻指的是在制造時從晶片表面去除層,這是一個非常重要的過程,每個晶片都要經歷許多蝕刻過程,用于保護晶片免受蝕刻劑影響的材料被稱為掩模材料,其用于許多蝕刻步驟中以抵抗蝕刻,該掩模材料可以是光致抗蝕劑,并且使用光刻法將其圖案化,蝕刻加工是現(xiàn)在常用的加工方式,主要應用在金屬蝕刻、蝕刻標牌、蝕刻五金以及PCB電路板上,蝕刻加工相比于傳統(tǒng)的沖壓、激光雕刻等方式,更加靈活,也更方便。
現(xiàn)在可以對涂覆的晶片進行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機械的工藝都無法加工的高精密產品。