蝕刻是微制造過程中的一個重要步驟,術語蝕刻指的是在制造時從晶片表面去除層,這是一個非常重要的過程,每個晶片都要經歷許多蝕刻過程,用于保護晶片免受蝕刻劑影響的材料被稱為掩模材料,其用于許多蝕刻步驟中以抵抗蝕刻,該掩模材料可以是光致抗蝕劑,并且使用光刻法將其圖案化,蝕刻加工是現在常用的加工方式,主要應用在金屬蝕刻、蝕刻標牌、蝕刻五金以及PCB電路板上,蝕刻加工相比于傳統的沖壓、激光雕刻等方式,更加靈活,也更方便。
蝕刻幾微米的非常薄的層將去除在背面研磨過程中產生的微裂紋,導致晶片具有顯著增加的強度和柔性,對于各向同性濕法蝕刻,氫氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常見的蝕刻劑溶劑,每種蝕刻劑的濃度決定了蝕刻速率,二氧化硅或氮化硅經常被用作對抗HNA的掩蔽材料,彩色不銹鋼蝕刻板具有較高的耐磨、抗刻劃特性高于普通不銹鋼,常用于酒店、賓館、娛樂場所、gao檔皮牌專賣店、車廂板、廳堂墻板、天花板、招牌、門窗裝飾等。
現在可以對涂覆的晶片進行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機械的工藝都無法加工的高精密產品。