傳統的蝕刻工藝因為存在技術落后、生產成本高、嚴重的污染問題,guo家在環保政策的要求下強勢淘汰傳統工藝,整個蝕刻行業亟需解決行業升級、技術換代的問題,且迫在眉睫,蝕刻優版創新技術應運而生,微加工過程中有很多加工步驟,現代工藝上,不銹鋼蝕刻板針對高精密、精細化的產品上無法滿足,其蝕刻工藝手段非常適用對精密化產品,比如汽車機械部件、墊片和間隔墊圈、高性能密封墊片、各種過濾網片,電動汽車電池片,汽車喇叭網上均采用蝕刻工藝。
在一些蝕刻情況下,蝕刻會削弱掩模層,并產生形成空腔的傾斜側壁,底切的距離稱為偏差,濕蝕刻劑通常是各向同性的,并且它們在厚膜蝕刻期間導致較大的偏差,它們還需要處理大量有毒廢物,這種蝕刻方法在“后端”處理(BEOL)之前特別有效,在該處理中,晶片在晶片背面研磨之后通常非常薄,并且對熱或機械類型的應力非常敏感,晶圓,也稱為基板,通常是平面表面,其中添加了薄薄的材料層,以用作電子和微流體設備的基礎;zui常見的晶圓是由硅或玻璃制成的。
現在可以對涂覆的晶片進行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機械的工藝都無法加工的高精密產品。