小編在這里給大家分享的主要是四川光刻機的主要性能指標有哪些，希望看完之后大家對于光刻機的主要性能指標有一定的了解。

光刻機的主要性能指標：

1、支持基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。

2、分辨率是對光刻工藝加工可以達到的*細線條精度的一種描述方式。

3、光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工藝等各方面的限制。

4、對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。

5、曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。

6、曝光光源波長為紫外、深紫外和極紫外區域，光源有汞燈，準分子激光器等。

相信大家看完文章之后對于四川光刻機的主要性能指標一定的了解，能夠對光刻機有更深入的認識。