? ? ? ?干式真空泵：它是一種泵內(nèi)無油（液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩８鶕?jù)不同的配置，此類產(chǎn)品的極限真空一般為0.005 pa～100pa左右，主要用于抽除無油性氣體的特殊工藝流程。如半導(dǎo)體、集成電路、微電子行業(yè)。羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個反向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間均保持一定的間隙。由于普通羅茨真空不能單獨使用必須配備前級泵，可采用往復(fù)式真空泵、油封式真空泵、液環(huán)式真空泵等作為前級泵。
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? ? ? ?因此羅茨真空泵可以使用在真空度為0.01 pa～5000pa左右的任何真空處理工藝上。一般對于可單獨使用的真空泵，在單獨使用時該真空泵就是主泵；對于羅茨真空泵機組而言，可分為主泵和前級泵，所謂主泵就是與系統(tǒng)直接相連的真空泵，通常羅茨真空泵為主泵，它在對系統(tǒng)抽真空時起主要作用。前級泵是指其進(jìn)氣口與主泵直接相連，排氣口與大氣直接相連的泵為前級泵，前級泵的作用是必須及時將主泵排出的氣體抽掉并排入大氣。
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