依據(jù)河南實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)請(qǐng)求和運(yùn)用要特性，納科建設(shè)請(qǐng)求河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程與普通凈化工程不同。具有高安 全性、專注化、完好性、模塊化等特性。而且實(shí)驗(yàn)室凈化工程對(duì)科學(xué)研討的建立意義嚴(yán)重，關(guān)乎實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精確性，河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程室內(nèi)環(huán)境的程度成為企業(yè)急需求思索的問題，權(quán)衡規(guī)范。1、專注化：東鑫凈化統(tǒng)一管理，河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程從前期規(guī)劃用地、中期設(shè)計(jì)施工、后期調(diào)試運(yùn)營開端，終身維護(hù)效勞、專注化實(shí)驗(yàn)室凈化工程設(shè)計(jì)和施工的專家效勞、經(jīng)歷豐厚的項(xiàng)目經(jīng)理、規(guī)范化流程、大范圍運(yùn)營等，充沛感遭到作為?？萍夹g(shù)公司的一向質(zhì)量和系統(tǒng)配置、整體施行、專家效勞的共同優(yōu)勢(shì)。運(yùn)用戶的凈化實(shí)驗(yàn)室可以在建筑裝飾、電氣設(shè)備、消防安 全等方面，到達(dá)有關(guān)計(jì)算機(jī)房的國度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。2、高規(guī)范化：統(tǒng)一諧和各設(shè)備供給商、工程承包商和效勞供給商，將整個(gè)河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程建立過程中，觸及的多個(gè)環(huán)節(jié)和協(xié)作同伴融為一體。

干凈室中的溫濕度控制 干凈空間的溫濕度主要是依據(jù)工藝請(qǐng)求來肯定，但在滿足工藝請(qǐng)求的條件下，應(yīng)思索到人的溫馨度感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越嚴(yán)的趨向。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求以后還要羅列，但作為總的準(zhǔn)繩看，由于加工精度越來越精密，所以對(duì)溫度動(dòng)搖范圍的請(qǐng)求越來越小。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學(xué)吸附在外表難以肅清。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)作擊穿。關(guān)于硅片消費(fèi)最佳濕度范圍為35—45%。

實(shí)驗(yàn)室凈化分類 亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與干凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入干凈室，并由干凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于干凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建形成本低，干凈室的擴(kuò)大比擬容易，在某些特殊用處場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，進(jìn)步干凈室等級(jí)。 缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之干凈度，常常須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間