潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室空調系統能耗高的原因: (1)凈化風量大。不同凈化級別的潔凈室的風量是同面積舒適空調的1.5倍。55倍，送風壓力也是2-3倍，所以鼓風機的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調凈化系統新風量大。一般情況下，新風量等于排風量和正壓漏風量之和，所以生產過程排風量大，所以新風量大。因此，新風的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設備和工藝熱值高，連續二班或三班運行。所以能耗也大。 ④潔凈室內生產技術對溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴格。也是能耗高的原因。

潔凈室的空氣處理方式應通過熱負荷、濕負荷、風量平衡的計算和經濟技術的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環風量遠大于新風量，可以實現二次回風，避免冷熱抵消，達到節能的目的。因此，應采用二次回風。二次回風的過程可分為兩種方式:新風承擔全部冷、熱、濕負荷，新風和循環風分別承擔冷、熱、濕負荷。冷、熱、濕總負荷相同，應根據工程具體情況合理采用。對于室內顯熱負荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風溫度與室內溫度的溫差較小，采用新風空調加FFU(風機過濾機組)和干表面冷卻分擔冷熱負荷是節能的。